“对于MEMS技术,很多朋友是比较熟悉的。但是,同样有些朋友对MEMS技术并不了解。为增进大家对MEMS技术的了解,本文首先将对MEMS技术基础予以介绍,然后小编将带大家看看骑车上有哪些MEMS应用。如果你对MEMS相关内容,不妨继续往下阅读哦。
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一、MEMS技术基础
MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新功能的元件和系统。MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域,几乎涉及到自然及工程科学的所有领域,如电子技术、机械技术、物理学、化学、生物医学、材料科学、能源科学等。其研究内容一般可以归纳为以下三个基本方面:
1.MEMS理论基础:
在当前MEMS所能达到的尺度下,宏观世界基本的物理规律仍然起作用,但由于尺寸缩小带来的影响(Scaling Effects),许多物理现象与宏观世界有很大区别,因此许多原来的理论基础都会发生变化,如力的尺寸效应、微结构的表面效应、微观摩擦机理等,因此有必要对微动力学、微流体力学、微热力学、微摩擦学、微光学和微结构学进行深入的研究。这一方面的研究虽然受到重视,但难度较大,往往需要多学科的学者进行基础研究。
2.MEMS技术基础:
MEMS的技术基础可以分为以下几个方面:(1)设计与仿真技术;(2)材料与加工技术(3)封装与装配技术;(4)测量与测试技术;(5)集成与系统技术等。
3.MEMS应用研究:
人们不仅要开发各种制造MEMS的技术,更重要的是如何将MEMS技术与航空航天、信息通信、生物化学、医疗、自动控制、消费电子以及兵器等应用领域相结合,制作出符合各领域要求的微传感器、微执行器、微结构等MEMS器件与系统。
二、汽车上的MEMS应用
MEMS传感器有三项MEMS技术产品:红外传感器、磁性传感器、测角传感器;在高档汽车中,大约采用25至40只MEMS传感器;
1)MEMS传感器的大批量高精度生产和高可靠性及单价廉价,特别适宜在汽车电控系统中应用;
2)安全气囊中的汽车安全气囊感应器;
3)MEMS汽车微加速度计正替代以往的机电式加速度传感器
4)MEMS陀螺仪在高端汽车中的应用包括:悬架控制、翻滚
5)汽车MEMS压力传感器和轮胎气压自动监测系统,MEMS压力传感器适合于任何类型的轮胎,在轮胎胎壁埋设一小块感压力敏芯片,自动测量轮胎气压、温度、转速和其它一些数据,并用特定的代码发送出来。
6)发动机管理系统中的MEMS应用
7)微机械陀螺是一种振动式角速率传感器,在汽车领域的应用开发倍受关注,主要用于汽车导航的GPS信号补偿和汽车底盘控制系统;
8)汽车电控燃油喷射系统EFI要使用多重压力MAP传感器,监测发动机进气歧绝对压力,提高其动力性能,降低油耗,减少废气排放。
9)微型硅压阻式MEMS压力传感器可用于发动机废气循环系统,替代陶瓷电容式压力传感器;
10)汽车空调压缩机中的压力测量也是MEMS的一个很大市场。
11)气缸内气压测量,爆缸控制;
12)燃油喷射系统,柴油共轨系统;
13)传动油压,变速自动控制;
14)制动油道油压,制动系统;
15)悬挂液压,悬挂系统。
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